小型中走絲，北達(dá)科他州立大學(xué)的KAABI L等人建立了拋物線型空腔的電容式絕對壓力傳感器的理論模型。為了實(shí)現(xiàn)40 Pa以下的絕對壓力的測量，他們設(shè)計(jì)了一種相應(yīng)的調(diào)節(jié)器，可以實(shí)現(xiàn)壓力的直接讀取，分辨率達(dá)到1 Pa。

小型中走絲，調(diào)節(jié)器的工作原理也是首先將電容值通過振蕩器轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的頻率值，然后利用一個(gè)BCD計(jì)數(shù)器和譯碼器將頻率值直接轉(zhuǎn)變?yōu)閴毫χ?。調(diào)節(jié)器的實(shí)現(xiàn)簡單易行，試驗(yàn)結(jié)果與理論結(jié)果吻合得很好。

小型中走絲，壓力傳感器的發(fā)展方向，從改進(jìn)傳感器方面來說，現(xiàn)有研究都集中在優(yōu)化傳感器結(jié)構(gòu)與改良工藝方面，發(fā)掘新材料的報(bào)道卻鮮有。所以發(fā)掘楊氏模量低和介電常數(shù)大的新材料應(yīng)用于小量程MEMS電容式壓力傳感器是很有希望的一個(gè)研究方向。

小型中走絲，可動(dòng)極板采用楊氏模量低的材料可以提高其形變量，介電層采用介電常數(shù)大的材料可以增大傳感器的輸出電容式值。有很多高分子聚合物(Polymers)材料滿足這樣的設(shè)計(jì)要求,比如聚對二甲苯（parylene）、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、SU-8、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚已酸內(nèi)酯(polycaprolactone)、聚苯乙烯(pplystyrene)等。在這些材料中，PDMS不僅可以軟刻蝕，而且具有鑄造高保真的優(yōu)點(diǎn)，因而最適合用來制作壓力傳感器。其楊氏模量可調(diào)，約750 kPa。