大型中走絲，事實上，PDMS材料已經(jīng)廣泛應(yīng)用于生物傳感器和微流控領(lǐng)域，利用PDMS制作薄膜，PDMS與PDMS、PDMS與硅鍵合的相關(guān)加工工藝都已經(jīng)成熟，為其應(yīng)用于MEMS壓力傳感器奠定了堅實的基礎(chǔ)。另一方面，如何提高精度和分辨率，降低雜散電容的影響依舊是測量電路的優(yōu)化重點。

大型中走絲，目前，商業(yè)化的MEMS壓力傳感器不能滿足氣象檢測、空間探索、生物醫(yī)學(xué)等特殊背景下的壓力測量需要, 因此對小量程壓力傳感器的研究成為必然。與其他類型的傳感器相比，電容式壓力傳感器最適合小量程測量，但還需要進一步研究，改善其靈敏度和測量電路，使其得到廣泛的應(yīng)用。

大型中走絲，本文討論的傳感器代表了小量程MEMS電容式壓力傳感器的最新研究成果，分別針對傳統(tǒng)的平行板電容器進行了工藝改良、結(jié)構(gòu)創(chuàng)新與電路優(yōu)化。這幾種傳感器各具特點但仍有不足，適合在不同領(lǐng)域中使用。

大型中走絲，通過調(diào)研發(fā)現(xiàn)，采用諸如PDMS的柔性材料作為電容式傳感器的可動極板材料是達到小量程測量目的的一個有效途徑。與國外相比，國內(nèi)對于這方面的研究尚在起步階段，因而迫切需要投入力量，大力開展這方面的研究工作。